國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,格蘭菲智能科技股份有限公司申請一項(xiàng)名為“功率半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)及其制備方法”的專利,公開號 CN 118748202 A,申請日期為2024年7月。
專利摘要顯示,本申請涉及一種功率半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)及其制備方法。該結(jié)構(gòu)包括:襯底,其中,襯底被劃分為元胞區(qū)和終端區(qū),終端區(qū)位于元胞區(qū)的外圍;主結(jié)結(jié)構(gòu),位于襯底的第一側(cè)且位于元胞區(qū)內(nèi)多個(gè)場環(huán)結(jié)構(gòu)位于襯底的第側(cè)且位于終端區(qū)內(nèi),多個(gè)場環(huán)結(jié)構(gòu)包括多個(gè)場限環(huán)和至少一個(gè)截止環(huán)。至少一個(gè)截止溝槽,位于襯底的第一側(cè)、且在第一方向上位于相鄰的場限環(huán)和截止環(huán)之間,截止溝槽內(nèi)填充有電極材料。通過設(shè)計(jì)截止溝槽,且截止溝槽內(nèi)填充有電極材料,截止溝槽結(jié)構(gòu)能夠等同于一個(gè)電極,實(shí)現(xiàn)電場的截止,因此可以縮短最外圍的一個(gè)場限環(huán)和截止環(huán)之間的距離,進(jìn)而有利于終端區(qū)的面積的縮小,便于實(shí)現(xiàn)功率半導(dǎo)體器件的小型化、集成化設(shè)計(jì)。