當(dāng)前，特色半導(dǎo)體領(lǐng)域中企業(yè)創(chuàng)新，面臨著單一產(chǎn)品線企業(yè)不足以承擔(dān)前期沉默成本，包括半導(dǎo)體工廠建設(shè)的資本支出和時(shí)間成本等諸多挑戰(zhàn)。近日，第十屆國際第三代半導(dǎo)體論壇&第二十一屆中國國際半導(dǎo)體照明論壇（IFWS&SSLCHINA2024）在蘇州召開。

期間，“氮化鎵射頻電子器件與應(yīng)用分會(huì)”上，國家5G中高頻器件創(chuàng)新中心/深圳市匯芯通信技術(shù)有限公司副總經(jīng)理、CTO 做了“FLAB：特色射頻半導(dǎo)體的技術(shù)創(chuàng)新模式探索”的主題報(bào)告，分享了國家5G中高頻器件創(chuàng)新中心FLAB三代特色半導(dǎo)體工藝技術(shù)創(chuàng)新的新模式，包括硬件建設(shè)、軟件建設(shè)、開發(fā)體系、技術(shù)路線等。

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國家5G中高頻器件創(chuàng)新中心/深圳市匯芯通信技術(shù)有限公司副總經(jīng)理、CTO?

報(bào)告指出，特色半導(dǎo)體領(lǐng)域中企業(yè)創(chuàng)新，面臨著單一產(chǎn)品線企業(yè)不足以承擔(dān)前期沉默成本，包括半導(dǎo)體工廠建設(shè)的資本支出和時(shí)間成本；新企業(yè)往往無法同時(shí)具備的芯片從“市場(chǎng)應(yīng)用-產(chǎn)品設(shè)計(jì)-工藝開發(fā)-工廠制造”的長鏈條的團(tuán)隊(duì)和相應(yīng)的管理能力；行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)同樣需要在多樣化的特色工藝路線上的具備量產(chǎn)條件的技術(shù)開發(fā)資源等挑戰(zhàn)。?

國家5G中高頻器件創(chuàng)新中心的核心任務(wù)加速新材料/工藝/器件從中試到量產(chǎn)商用，創(chuàng)新地提出Lab-in-Fab的技術(shù)創(chuàng)新模式（簡稱FLAB模式）：在成熟的量產(chǎn)工藝線上建設(shè)三代半導(dǎo)體特色工藝線，并結(jié)合創(chuàng)新中心的內(nèi)部技術(shù)中臺(tái)支持合作伙伴的客制化特色半導(dǎo)體量產(chǎn)工藝創(chuàng)新，在業(yè)界首創(chuàng)地提出“0.49”開發(fā)業(yè)務(wù)邊界內(nèi)，賦能合作伙伴-特色半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新型企業(yè)和機(jī)構(gòu)，助力伙伴在無沉默成本投入的條件下同時(shí)擁有專有工藝/產(chǎn)品創(chuàng)新能力與成熟工藝平臺(tái)的量產(chǎn)能力。

國家5G中高頻器件創(chuàng)新中心在此模式下推進(jìn)技術(shù)資源平臺(tái)化/技術(shù)開發(fā)流程化/技術(shù)能力工具化，建成業(yè)界領(lǐng)先的硅基GaN有源器件和硅基AlN無源器件的模塊化基線工藝平臺(tái)，全流程的工具鏈支持和量產(chǎn)加速工具包， 為合作伙伴的定制化工藝和器件開發(fā)提供了前所未有的技術(shù)創(chuàng)新體驗(yàn)。例如，在創(chuàng)新中心的硅基AlN無源器件的模塊化基線工藝平臺(tái)上，莫合作伙伴聚焦器件結(jié)構(gòu)創(chuàng)新和先進(jìn)工藝模塊定制開發(fā)，包括DUV先進(jìn)光刻工藝和小角度的金屬薄膜刻蝕工藝，在兩個(gè)月內(nèi)實(shí)現(xiàn)一種11層光刻的高頻濾波器器件的原型開發(fā)，并啟動(dòng)SPC統(tǒng)計(jì)工藝控制的數(shù)據(jù)收集。

此外，創(chuàng)新中心與資本緊密配合，打造技術(shù)資源+資本賦能的特色半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新生態(tài)，堅(jiān)信三代半特色半導(dǎo)體的長期價(jià)值創(chuàng)造在于細(xì)分市場(chǎng)的應(yīng)用需求和半導(dǎo)體技術(shù)和產(chǎn)品創(chuàng)新的高效匹配。

關(guān)于匯芯通信

深圳市匯芯通信技術(shù)有限公司由深圳市政府、清華大學(xué)、南方科技大學(xué)發(fā)起，聯(lián)合多家5G產(chǎn)業(yè)鏈上下游龍頭企業(yè)和上市公司共同成立，是目前我國在5G移動(dòng)通信領(lǐng)域唯一的國家級(jí)制造業(yè)創(chuàng)新中心“國家5G中高頻器件創(chuàng)新中心”的依托公司，專注于5G通信中高頻器件領(lǐng)域前沿技術(shù)和共性關(guān)鍵技術(shù)的研發(fā)供給、轉(zhuǎn)移擴(kuò)散和首次商業(yè)化應(yīng)用。目前在量產(chǎn)工藝線上建設(shè)了硅基氮化物射頻和毫米波量產(chǎn)工藝技術(shù)中試平臺(tái)、特色工藝設(shè)計(jì)工具開發(fā)平臺(tái)、射頻和毫米波前端器件封測(cè)與驗(yàn)證平臺(tái)三大公共技術(shù)服務(wù)平臺(tái)，向產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)提供最專業(yè)的技術(shù)服務(wù)。

（根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)資料整理，僅供參考）??