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廣州南砂晶圓申請用于PVT法生長碳化硅單晶的裝料裝置及應用專利,有效提高所制得碳化硅晶體的質量

發表于:2025-04-17 來源:半導體產業網 編輯:

 國家知識產權局信息顯示,廣州南砂晶圓半導體技術有限公司申請一項名為“一種用于PVT法生長碳化硅單晶的裝料裝置及其應用”的專利,公開號CN 119824526 A,申請日期為2024年12月。

專利摘要顯示,本申請公開了一種用于PVT法生長碳化硅單晶的裝料裝置及其應用,屬于碳化硅單晶生長設備技術領域。本申請提供一種在PVT法生長碳化硅單晶時放置于坩堝體內的裝料裝置,用于盛裝碳化硅粉料,該裝料裝置包括筒體和可拆卸設置在筒體上的頂蓋,筒體包括側壁和筒體底部,筒體的側壁由可以供所述碳化硅粉料分解的氣相組分通過、但阻擋碳顆粒的多孔材料制成,頂蓋由阻擋所述碳化硅粉料分解的氣相組分通過的致密材料組成。本申請還提供利用上述裝置生長單晶的方法,通過使用裝料裝置進行碳化硅單晶生長,可以改變物料氣氛的傳輸路徑,避免了重結晶區域阻擋氣氛傳輸,解決了晶體生長速率突變的問題,減少了碳包裹體的生成,有效提高了所制得碳化硅晶體的質量。

天眼查資料顯示,廣州南砂晶圓半導體技術有限公司,成立于2018年,位于廣州市,是一家以從事計算機、通信和其他電子設備制造業為主的企業。企業注冊資本35680萬人民幣。通過天眼查大數據分析,廣州南砂晶圓半導體技術有限公司共對外投資了5家企業,參與招投標項目18次,財產線索方面有商標信息12條,專利信息57條,此外企業還擁有行政許可66個。

(來源:金融界)

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